MEMS on mikromootori süsteemi lühend. Valmistoote individuaalne miniatuurne suurus on millimeetri või isegi mikroni tasemel. Seda kasutatakse laialdaselt 5G side, turvaseire, tööstusautomaatika, autoelektroonika ja muudes valdkondades. Praeguses etapis võib öelda, et peaaegu kõiki elektroonikatooteid rakendatakse MEMS-ile.
MEMS-seadme eelised: väiksus, kerge kaal, lihtne integreerimine, madal energiatarve, kõrge tundlikkus ja palju muid eeliseid. Ja seda saab masstootma. Kuigi MEMS-i pakend võib olla masstootmine, pole see universaalne. Vastavalt MEMS-i komponentide erinevatele funktsionaalsetele tüüpidele on komponendi struktuur ja pakkimismeetodid erinevad ning spetsiaalne tüüp on kõrgem.
Selles etapis kasutatakse tavaliselt kiibi tasemel monteerimistehnoloogiat. Loomulikult on monteerimistäpsusele, töökeskkonnale ja joondusmeetoditele üsna ranged nõuded.
MEMS-i kiibi tasemel kokkupaneku raskused
1. Kõrge pakendamistäpsuse standard
MEMS-süsteemi tarkvara sisaldab unikaalset andmesignaali liidest, korpust, siseseina ja muid konstruktsioone, mis muudavad MEMS-i komponentide ja multifunktsionaalsete substraatide traadiga ühendamise protsessi käigus komplekteerimisel ja paigutamisel keerulisemaks asendi ja nurga reguleerimise.
2. Materjal on habras ja kergesti purunev
MEMS-seadmetel, nagu mikrokiirendusmõõturid, mikromootorid jne, on tavaliselt sisseehitatud mehaanilised struktuurid, näiteks õõnsused või konsoolid. Need struktuurid on väikese suurusega ja palju väiksema mehaanilise tugevusega kui IC-kiibid. Nad on kokkupanemise ja muude protsesside ajal füüsilise kontakti suhtes väga haavatavad.
Paljud MEMS-seadme osad pole mitte ainult väikeste mõõtmetega, vaid ka haprad ja haprad, näiteks sügavad sooned ja sektorid, mistõttu on liimimisel rakendatav töörõhk väga oluline. Kui töörõhk on liiga väike, ei ole ühendus tihe; kui töörõhk on liiga kõrge, saavad komponendid kahjustatud.
On näha, et täpsed täpsustasemed ja sidumisamplituudid on vajalikud tingimused MEMS-raadiosagedustransiiveri paigalduse läbilaskevõime parandamiseks.
Kui MEMS-seadme paksus on vahemikus 50–150 μm, on valitud traadiühenduse töörõhk vahemikus 50–100 g ja pöörlemisnihe peaks olema väiksem kui 0,3 °, et komponentide kahjustusi saaks suurel määral vähendada. ja vastavust saab parandada. Hinda.
Kõrge täpsusega joondamine, plaastri tüüp, et tagada läbimise kiirus
Mikronitaseme tagasiside täpse andmeteabe saamiseks, ±0,01N jõu juhtimise täpsus, ±2 μm lineaarse korratavuse täpsustase, ±0,01° pöörlemise korratavuse täpsuse tase, radiaalne läbipaine alla 10 μm, koodri eraldusvõime spetsifikatsioon 1 μm, saadaval stabiilse väljundina isegi kõrgetel temperatuuridel - töökiirus, parandades kvalifikatsiooni määra ja stabiilsust.
Vaakum imemine, kontrollitav töörõhk, vähendab tarbimist
Guoao lineaarne pöörlev mootor kasutab õõnsat Z-telje disaini, reserveeritud hingetoru pistikupesa, vaakumimemist, ühenda ja mängi ning suudab pakkuda kohandatud teenuseid, mis põhinevad komponentide struktuuril ja omadustel;
Sisaldab"pehme maandumise" funktsioon, mis suudab saavutada stabiilse jõu juhtimise ±1,5 g piires ja saab kohandada selliseid parameetreid nagu kiirus, kiirendus ja jõu juhtimine, nii et paigutuspea saab MEMS-i komponente puudutada väga täpse töörõhuga, vähendades tühjenemist.
& quot;Z+R" telje integreeritud disain kiiruse suurendamiseks
Uuenduslik kaheteljeline integreeritud lahendus ühendab endas traditsioonilise"servomootori + kuulkruvi" üheks, mis saab hästi hakkama Z-telje omakaalulise koormuse probleemiga ja täielik komponent Pick&võimendi; Paigutamine, paigutus ja muud toimingud suurel kiirusel ja täpselt. Tõukejõud Kõver on sile, maksimaalne tõukejõud on 8–50 N, efektiivne käik on 10–50 mm ja ülipikk tsükli eluiga võimaldab tõhusat tootmist.
